中国网7月13日讯 据悉，近日泛半导体智能制造合座处分决议供应商合肥欣奕华智能机器股份有限公司（以下简称“合肥欣奕华”）已完成12inch半导体自动物料搬送系统AMHS（Automatic Material Handling System）的开垦和Demo系统运营，并通过了时刻规格考据。
芯片制造对工艺和环境条目很高——先进的12inch半导体工场需要无尘洁净的环境，对统统工场运营的自动化、智能化经由条目很高，这使得何如提高统统洁净工场的空间欺骗率、减少机台的闲置时刻、擢升坐褥恶果和居品良率成为其最关爱的问题。12inch半导体制造工场的AMHS系统由多种硬件树立（OHT、OHB、OHCV、Stocker、Lifter、NTB等）和软件系统（MCS、OCS、STKC等）构成。AMHS系统不错在洁净环境中终了复杂工艺间的无东说念主自动搬送，擢升运营恶果的同期确保品性和良率。因此AMHS系统是12inch先进工艺晶圆厂大范畴量产，提高坐褥恶果的优先接管。跟着行业时刻发展，AMHS也将被大范畴应用于12inch硅片制造、芯片制造、先进封装等各式半导体制造工序中。
合肥欣奕华AMHS系统的搬送恶果、晶圆保护、当作精度等各项性能成见均达到海外先进水平，何况领有独到的旅途搜索算法专利，具备大范畴车辆智能调遣能力。其中自主研发的高速OHT居品，时刻规格和相信性达到业界率先水平，不错在最高320m/min的高速行驶下沉稳运转，同期高速行驶的振动数据、移载速率、Vehicle间防冲撞完了等时刻成见并排业界顶尖供应商。合肥欣奕华OHT最大负载15公斤，不错对应多种制造工序的居品，何况具备单LOOP内同期完了200台Vehicle的配车能力。
“咱们打造了占大地积400平米，稀有百米轨说念的巨大AMHS Demo系统，居品具备先进的时刻和快速迭代能力。OHT和Stocker的Demo为了考据复杂系统的相信性和时刻成见，OHT遐想了多种复杂轨说念环境，包括直轨、转弯、不对合流部等，进一步还止境遐想并考据歪斜轨说念爬坡功能、双层轨说念、轨说念自清洁功能以及搬送中的晶圆盒后盖很是及时侦测功能等。咱们还对中枢部品无线供电系统进行了冗余化遐想，对软件系统的工作器进行自动切换的双机热备遐想，大大加多了系统的相信性。软件方面，OCS完了系统和MCS系统使用新式软件架构，相沿海量大数据的快速收罗和分析，相沿不断机更新，其系统具备及时数据管制与统计、气象3D重现、Vehicle预约、FDC监控、旅途缠绵算法的动态更新等翻新功能。”合肥欣奕华AMHS居品认真东说念主先容到，“客户很关注咱们在大范畴量产制造下系统对应能力，为此咱们有益搭建了Digital Twin（数字孪生）平台，不但能加速居品遐想迭代的速率，还能构建与客户工场疏导的数字化诬捏工场，模拟树立、系统和着实坐褥制造的环境，从而考据超大范畴完了能力。咱们提供了一个高相信性、高效的12inch晶圆AMHS系统的合座处分决议。”据了解，开垦团队领有向上15年AMHS从业教育，深入赓续半导体AMHS居品应用及居品时刻，当今已央求专利和软著二十多项。